檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chaur-Jeng Wang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="氮化高熵合金薄膜"
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本研究分為兩個部分,第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍,並於製程中控制不同氮氣通量,以製備不同氮含量之高熵合金薄膜;在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍,並改…